Polovodičové vývevy Inpower Dry sú špecializované vývevy používané v polovodičovom priemysle na vytvorenie čistého a suchého vákuového prostredia. Tieto čerpadlá sú nevyhnutné pre procesy, ako je chemické naparovanie, fyzikálne naparovanie, implantácia iónov a leptanie.
Technické parametre:
|
Model |
GXR110 |
GXR180 |
GXR320 |
GXR400 |
|
|
RÝCHLOSŤ (50 Hz) |
m³/h |
110 |
180 |
320 |
400 |
|
Dokonalé vákuum (50 Hz) |
Pa |
Menšie alebo rovné 1 |
Menšie alebo rovné 1 |
Menšie alebo rovné 1 |
Menšie alebo rovné 1 |
|
VÝKON (50 Hz) |
Kw |
4.5 |
7.5 |
7.5 |
7.5 |
|
Nútené vnútorné obehové chladenie |
GXR je vybavený chladiacim zariadením s nútenou vnútornou cirkuláciou s maximálnou telesnou teplotou čerpadla<50 ° C and a maximum motor temperature of<35 ° C |
||||
|
Napätie a frekvencia |
Prispôsobte sa globálnemu napätiu a frekvencii |
||||
|
Vstupné/výstupné rozhranie |
Prispôsobiteľné rozhranie príruby / rozhranie KF |
||||
|
Voda |
Tlak (MPa) |
0.2-0.4 |
|||
|
Prietok L/min |
3-5 |
||||
|
Tem ( stupeň ) |
10-30 |
||||
|
N2 |
Tlak (MPa) |
0.05-0.1 |
|||
|
Prietok L/min |
6-20 |
||||
|
Hluk |
dB |
Menšie alebo rovné 68 |
Menšie alebo rovné 68 |
Menšie alebo rovné 70 |
Menšie alebo rovné 70 |
|
Hmotnosť |
kg |
280 |
360 |
360 |
420 |
|
Monitorovanie a kontrola |
Ovládací panel/vákuový digitálny displej/monitorovanie teploty/aktuálne monitorovanie/alarm poruchy/iné sieťové služby |
||||
|
Model |
GXR 180/800 |
GXR180/1300 |
GXR180/1800 |
GXR450/2600 |
|
|
RÝCHLOSŤ (50 Hz) |
m³/h |
800 |
1300 |
1800 |
2600 |
|
Dokonalé vákuum (50 Hz) |
Pa |
Menšie alebo rovné 0.1 |
Menšie alebo rovné 0.1 |
Menšie alebo rovné 0.1 |
Menšie alebo rovné 0.1 |
|
VÝKON (50 Hz) |
Kw |
7.5 |
7.5 |
9 |
15 |
|
Nútené vnútorné obehové chladenie |
GXR je vybavený chladiacim zariadením s nútenou vnútornou cirkuláciou s maximálnou telesnou teplotou čerpadla<50 ° C and a maximum motor temperature of<35 ° C |
||||
|
Napätie a frekvencia |
Prispôsobte sa globálnemu napätiu a frekvencii |
||||
|
Vstupné/výstupné rozhranie |
Prispôsobiteľné rozhranie príruby / rozhranie KF |
||||
|
Voda |
Tlak (MPa) |
0.2-0.4 |
|||
|
Prietok L/min |
0.1 |
||||
|
Tem ( stupeň ) |
3-5 |
||||
|
N2 |
Tlak (MPa) |
10-30 |
|||
|
Prietok L/min |
0.05-0.1 |
||||
|
Hluk |
Tlak (MPa) |
6-20 |
|||
|
Hmotnosť |
dB |
Menšie alebo rovné 70 |
Menšie alebo rovné 70 |
Menšie alebo rovné 72 |
Menšie alebo rovné 72 |
|
Monitorovanie a kontrola |
kg |
600 |
720 |
800 |
1350 |
|
RÝCHLOSŤ (50 Hz) |
Ovládací panel/vákuový digitálny displej/monitorovanie teploty/aktuálne monitorovanie/alarm poruchy/iné sieťové služby |
||||
Charakteristika:
Prevádzka bez kontaminácie:
Suché skrutkové čerpadlá nevyžadujú žiadne mazacie ani tesniace kvapaliny, čím sa eliminuje riziko kontaminácie vo vákuovej komore. To je kľúčové pre zachovanie čistoty prostredia výroby polovodičov.
Vysoká rýchlosť čerpania:
Suché skrutkové čerpadlá sú schopné dosahovať vysoké rýchlosti čerpania, vďaka čomu sú vhodné pre aplikácie, kde sa vyžaduje rýchle odvádzanie plynov, ako napríklad pri spracovaní polovodičov.
Nízke nároky na údržbu:
V porovnaní s olejovými čerpadlami majú suché skrutkové čerpadlá nižšie nároky na údržbu, pretože pri prevádzke nie sú závislé od oleja. To vedie k zníženiu prestojov a úsporám nákladov počas životného cyklu čerpadla.
Energetická účinnosť:
Suché skrutkové čerpadlá sú navrhnuté s ohľadom na energetickú účinnosť a pomáhajú výrobcom polovodičov znižovať ich celkovú spotrebu energie a prevádzkové náklady.
Široký prevádzkový rozsah:
Tieto čerpadlá môžu pracovať v širokom rozsahu tlakov a ponúkajú flexibilitu v rôznych procesoch výroby polovodičov, ktoré vyžadujú rôzne úrovne vákua.
Kompaktný dizajn:
Suché skrutkové čerpadlá majú zvyčajne kompaktný dizajn, ktorý umožňuje jednoduchú integráciu do polovodičového zariadenia a šetrí cennú podlahovú plochu v prostredí čistých priestorov.
Spoľahlivosť:
Suché skrutkové čerpadlá sú známe svojou spoľahlivosťou a dlhou životnosťou, poskytujú konzistentný výkon v priebehu času a prispievajú k celkovej efektívnosti operácií výroby polovodičov.
Polovodičové vývevy Inpower Dry Oblasť použitia:
Výroba polovodičov:
Suché skrutkové čerpadlá hrajú rozhodujúcu úlohu v rôznych procesoch výroby polovodičov, vrátane chemického nanášania pár (CVD), fyzikálneho nanášania pár (PVD), implantácie iónov, leptania a naprašovania. Pomáhajú vytvárať a udržiavať požadované úrovne vákua nevyhnutné pre tieto procesy.
Depozícia tenkého filmu:
Pri technikách nanášania tenkých vrstiev, ako je naprašovanie a odparovanie, sa na evakuáciu procesnej komory a udržiavanie požadovaných podmienok vákua na nanášanie tenkých vrstiev na substráty používajú suché skrutkové čerpadlá.
Spracovanie oblátok:
Suché skrutkové čerpadlá sa používajú v krokoch spracovania plátkov, ako je čistenie, vzorovanie a dopovanie, kde je udržiavanie čistého a suchého vákuového prostredia rozhodujúce pre dosiahnutie presných a spoľahlivých výsledkov.
Populárne Tagy: suché polovodičové vákuové čerpadlá, Čína výrobcovia suchých polovodičových vákuových čerpadiel, dodávatelia, továreň, trvanlivé suché skrutkové čerpadlá, účinné suché skrutkové čerpadlá, vysokovýkonné suché skrutkové čerpadlá, Priemyselné suché skrutkové čerpadlá, spoľahlivé čerpadlá suchého skrutky, skrutkové čerpadlá pre suché aplikácie
