Kalibrácia vákuového meračazohráva kľúčovú úlohu v oblasti merania vákua a je kľúčovým podporným nástrojom celého výskumu a vývoja merania vákua. Prostredníctvom kalibrácie je možné nielen zjednotiť existujúce relatívne vákuomery podľa spoľahlivých štandardov, ale tiež je možné vykonať hĺbkový výskum výkonu vákuových meradiel vo fáze vývoja.
Takzvaná "kalibrácia vákuového meradla" sa v podstate týka "kalibračnej" operácie relatívneho vákuového merača. Je potrebné poznamenať, že kalibrácia vákuomeru sa vykonáva za špecifických podmienok pre konkrétny typ plynu, z čoho sa získavajú kalibračné koeficienty alebo kalibračné krivky.
Keď sa zmení typ plynu alebo sa zmenia pracovné podmienky, pôvodná kalibračná krivka už nie je použiteľná a musí sa prekalibrovať. Aj v prípade toho istého meracieho prístroja sa pri výmene meradla zodpovedajúcim spôsobom zmení aj jeho kalibračná krivka. Je vidieť, že kalibrácia relatívneho vákuometra je nielen nevyhnutná, ale musí sa vykonávať aj pravidelne, inak sa môžu vyskytnúť chyby merania mimo povoleného rozsahu.
Kalibrácia je zameraná na celkový vákuomer, ktorý zahŕňa vákuomer ako primárny prístroj a elektronický obvod ako sekundárny prístroj. Zvyčajne sa tieto dva kalibrujú spolu, ale ideálne je kalibrovať vákuomer a elektronický obvod oddelene.
Kalibrácia vákuového merača vyžaduje štandardný vákuový merací prístroj a kalibračný systém a dosahuje sa špecifickými metódami.
Medzi vákuové štandardy patria absolútne vákuomery, štandardné relatívne vákuomery (alebo sekundárne štandardné vákuomery) a absolútne kalibračné systémy.
Všetky absolútne vákuomery môžu slúžiť ako vákuové štandardy. Systém kalibrácie vákuového manometra, ktorý používa ako referenciu absolútny manometer a presne vypočítava regenerovaný nízky tlak po poklese tlaku ako štandard, sa nazýva absolútny kalibračný systém.
Napríklad kalibračný systém expanznej metódy používa princíp statickej tepelnej rovnováhy, založený na Boyleovom zákone ideálnych plynov. Tento systém rozširuje kalibračnú spodnú hranicu tlakomeru v tvare U na vysoké vákuum (10 ⁻⁴ Pa). Vákuomery s vysokou stabilitou a presnosťou môžu byť použité ako sekundárne etalóny na kalibráciu pracovných vákuomerov po kalibrácii. Takéto vákuomery sa nazývajú sekundárne štandardné vákuomery. V oblasti metrológie sú etalóny systémom usporiadaným podľa úrovní presnosti.
Dňa 1. mája 1990 Štátna správa technického dozoru schválila a začala implementovať dôležitú normu „Systém kalibrácie vákuových meracích prístrojov“ (JJG2022-89).
S rýchlym rozvojom moderných technológií došlo k výraznému pokroku aj v oblasti vákuovej techniky. V súčasnosti sa rozsah snímania a merania vákua značne rozšíril a siaha od pôvodného atmosférického tlaku (10 ⁵ Pa) až po veľmi široký rozsah extrémne vysokého vákua (<10 ⁻¹⁰ Pa).
Avšak v skutočnej priemyselnej výrobe a vedecko-výskumných činnostiach, prostredníctvom rozsiahlej praxe a štatistických objavov, sa rozsah tlaku ľudí sústreďuje hlavne medzi 10 ⁻⁸ a 10 ⁵ Pa. V tomto špecifickom rozsahu tlaku, aby sa zabezpečila presnosť a konzistentnosť hodnôt merania vákua sa objavil "Vacuum Measuring Instrument Calibration System".
Tento overovací systém zohráva kľúčovú úlohu. Je to kľúčové spojenie pri zabezpečovaní presnosti a spoľahlivosti hodnôt merania vákua, prostredníctvom ktorého možno dosiahnuť efektívny prenos hodnôt merania vákua medzi rôznymi spojeniami a zariadeniami.
Konkrétne v oblasti vákuovej metrológie je presnosť vákuových časovacích prístrojov na všetkých úrovniach kľúčová pre celý proces merania. Kalibračný systém je ako presné pravítko, ktoré poskytuje jednotný štandard merania pre tieto vákuové časovacie prístroje a umožňuje prísnu kalibráciu rôznych úrovní vákuových časovacích prístrojov.
A treba zdôrazniť, že kalibračný systém je zameraný hlavne na špecifický tlakový rozsah 10 ⁻⁸ až 10 ⁵ Pa. V tomto rozsahu, či už ide o vákuové etalónové zariadenie používané na kalibráciu a skúšanie oddelením metrológie, vákuomer používané v experimentálnom procese vedecko-výskumným oddelením alebo zariadenia na meranie vákua zapojené do výrobného procesu priemyselným oddelením, všetky musia byť kalibrované podľa tohto kalibračný systém na zabezpečenie presnosti a spoľahlivosti hodnôt merania vákua v celom procese priemyselnej výroby a vedeckého výskumu a na predchádzanie rôznym problémom spôsobeným nepresným meraním vákua, ako je odchýlka experimentálneho výsledku, nestabilná kvalita výroby atď.
